近日，510所與英國(guó)真科公司就共同開(kāi)發(fā)先進(jìn)電弧源、磁控濺射源達(dá)成了合作共識(shí)，標(biāo)志著510所向著"借力國(guó)際合作，促高端鍍膜裝備技術(shù)快速提升"的目標(biāo)又邁進(jìn)了一步。

高性能電弧鍍膜裝備、磁控濺射鍍膜裝備與超硬碳基薄膜裝備是表面工程事業(yè)部重點(diǎn)打造的三款主打鍍膜裝備，在各工業(yè)領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用，產(chǎn)業(yè)化前景可觀。沉積源作為鍍膜裝備的核心競(jìng)爭(zhēng)要素，對(duì)薄膜質(zhì)量、薄膜均勻性、鍍膜成本控制及批量化生產(chǎn)穩(wěn)定性等至關(guān)重要。英國(guó)真空公司是世界著名的真空鍍膜裝備沉積源制造商，在磁控濺射源、電弧源、等離子體源以及反應(yīng)濺射工藝控制方面擁有多項(xiàng)專(zhuān)利技術(shù)，相關(guān)市場(chǎng)占有率80%以上。2016年年初，510所就與真科公司建立了聯(lián)系，先后開(kāi)展多次交流。本次真科公司應(yīng)邀訪問(wèn)510所，在該領(lǐng)域進(jìn)行了深入細(xì)致的研討，就共同開(kāi)發(fā)面向中國(guó)市場(chǎng)急需的高性能電弧沉積源與磁控濺射沉積源達(dá)成了共識(shí)。

后續(xù)，510所將根據(jù)已達(dá)成的合作共識(shí)，與真科公司盡快啟動(dòng)新一代高性能沉積源的開(kāi)發(fā)工作，快速提升510所鍍膜裝備研制能力，為實(shí)現(xiàn)高端鍍膜裝備躋身"國(guó)內(nèi)領(lǐng)先、國(guó)際一流"行列，促進(jìn)高端鍍膜裝備盡早實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化奠定堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。