近日，在蘭州市組織的首次“十大科技項(xiàng)目”和“十大科技創(chuàng)新項(xiàng)目”的遴選活動(dòng)中，510所承擔(dān)的“高精度寬量程超高真空計(jì)”以較強(qiáng)的引領(lǐng)示范性、經(jīng)濟(jì)社會(huì)效益、支撐產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展等方面的能力，通過(guò)層層選拔正式入選蘭州市“十大科技項(xiàng)目”和“十大科技創(chuàng)新項(xiàng)目”，并獲得100萬(wàn)元經(jīng)費(fèi)支持。

超高真空計(jì)是離子加速度器、核聚變、表面工程、半導(dǎo)體技術(shù)等領(lǐng)域必須的超高真空測(cè)量?jī)x器，但目前國(guó)內(nèi)產(chǎn)品無(wú)法滿足應(yīng)用要求，國(guó)外高端產(chǎn)品占據(jù)主要市場(chǎng)份額。目前，國(guó)內(nèi)真空測(cè)量?jī)x器下限僅為10-7Pa，510長(zhǎng)期從事超高真空測(cè)量工作，對(duì)于超高真空測(cè)量下限延伸、fA級(jí)微弱信號(hào)采集處理等多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)已形成了相關(guān)自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，在本項(xiàng)目中，510所將開(kāi)展真空規(guī)管和控制單元工藝優(yōu)化設(shè)計(jì)，研制測(cè)量范圍10-9 Pa—10-2Pa的高精度寬量程超高真空計(jì)樣機(jī)，達(dá)到國(guó)內(nèi)最高水平，與國(guó)際同類(lèi)產(chǎn)品達(dá)到同等技術(shù)水平，將填補(bǔ)國(guó)內(nèi)技術(shù)空白，替換國(guó)外高端產(chǎn)品，占據(jù)國(guó)內(nèi)高端真空測(cè)量?jī)x器市場(chǎng)。

在“中國(guó)制造2025”大力倡導(dǎo)核心制造裝備國(guó)產(chǎn)化的大背景下，開(kāi)展高精度寬量程超高真空計(jì)的產(chǎn)品化研究后，將大幅提升我國(guó)真空計(jì)量檢測(cè)能力，對(duì)于真空裝備制造業(yè)體制增效、推動(dòng)我國(guó)經(jīng)濟(jì)發(fā)展保持中高速增長(zhǎng)，邁向中高端水平，具有重點(diǎn)的現(xiàn)實(shí)意義。